제품/시스템

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FFU1
Fan Filter Unit(FFU)
세계 일류상품 선정!
공기를 정화하여 청정한 공기를 공급하는 핵심장비로, 고청정도 시설에 적용됩니다.

EFU1
Equipment Fan Filter Unit(EFU)
반도체, FPD 생산설비 상부 또는 측면에 설치되어 장비내부의 압력을 유지하고, 청정한 공기를 공급하여 장비내부를 청정하게 유지해줍니다. 설치 공간의 제약을 크게 받지 않는 장점이 있습니다.

V-MASTER1a
휘발성 물질 제거 장비(V-master)
회전식 로터(Rotor)를 이용하여 공기중의 휘발성 유기화합물(VOCs)을 제거하는 장비입니다. 유지 및 보수가 간편하며 제거 효율은 90% 이상을 자랑합니다.

OAC1
외기조화기(Outdoor Air Control Unit : OAC)
외부 공기를 실내 또는 일정한 공간의 사용 목적에 접합하게 공급해주는 공조기입니다. 외기조화기는 반도체, LCD 및 기타 클린룸 내부 양압 및 습도를 유지해주는 것이 주된 목적이지만 신성이엔지의 외기조화기는 대기오염(가스, 먼지) 성분 제거가 주목적인 복잡한 구조를 가지고 있습니다.

AIR-SHOWER1
에어샤워(Air Shower)
청정작업실에 입실 시 외부 오염물질이 유입되는 것을 방지하기 위한 장비입니다.

WSS1
순수 분무 시스템(Water Showering System : WSS)
맑은 물을 분무하여 공기를 통해 유입되는 화학 오염물질을 제거하는 장비입니다.

ACF1
액세스플로어 오염물질 제거기
(Access Floor Chemical Filter Fan Unit : ACF)
장비 및 Fab에서 발생한 휘발성 물질(VOCs)과 오염물질을 효과적으로 제거하며 국소부위 공기흐름도 제어하는 장비입니다.

파티클(미세먼지) 가시화 시스템(Fine Particle Visualization System)
미세먼지가 레이저와 부딪혀 산란되는 미약한 산란광을 영상화하여 미세먼지를 가시화 하는 시스템입니다.
미세먼지 발생 및 움직임을 실시간으로 가시화 하여 촬영이 가능합니다.
particle1
파티클(미세먼지) 가시화 시스템 Type-H
0.1µm이상 파티클(미세먼지) 가시화
system1a
Parallel Eye
파장: 532nm

출력: 3W
Eyescope
고감도 저S/N비 카메라

실시간 미분처리 기능

Direct Capture

파티클 궤적 표시기능 (Trace Mode)
파티클(미세먼지) 가시화 시스템 Type-E
0.5µm이상 파티클(미세먼지) 가시화 가능
system1a
Parallel Eye
파장:532nm

출력: 0.4W
system5
Eyescope Lite
고감도 카메라

화소 Tilt기능

Direct Capture

S/W 미분기능

파티클 궤적 표시기능(Trace Mode)